主营产品
|
详细内容
|
设备参数：
|
指标 |
参数 |
指标 |
参数 |
|
晶体直径 |
φ8"/φ14" |
熔料量 |
380Kg |
|
主炉室尺寸 |
φ900×1250mm |
翻板阀通径 |
φ420mm |
|
拉伸腔尺寸 |
φ450×2270mm |
电源 |
3相380V±10%,50HZ |
|
变压器容量 |
230KVA |
冷炉极限真空度 |
3Pa |
|
加热器上限加热功率 |
150KVA |
加热器上限加热电压 |
60V |
|
主机上限高度 |
7200mm |
籽晶拉速范围 |
0～12.5mm/min |
|
籽晶快速范围 |
≥400mm/min |
籽晶转速范围 |
0～50R/min |
|
坩埚升速范围 |
0～2mm/min |
坩埚快速范围 |
≥100mm/min |
|
坩埚转速范围 |
0～20R/min |
籽晶提升有效行程 |
2250mm |
|
坩埚升降有效行程 |
400mm |
|
|
|
主机占地面积 |
2700mmX1500mm |
整机占地面积 |
5500mmX3000mm |
- 上一个：12英寸芯片级单晶硅片
- 下一个：晶体生长智能控制系统